二手 TEGAL 901 #9250123 待售

TEGAL 901是一種蝕刻器/asher，設計用於半導體制造工藝。它能夠提供高達550°C的溫度，以便蝕刻或粉刷材料。此外,901還有一個集成的溫度控制器,可調節室溫和最高溫度550 °C之間的溫度。這確保了均勻的溫度分布，並防止任何不適當的加熱基板。TEGAL 901具有多項高級功能,旨在優化蝕刻/灰化性能。其中包括RFF（射頻場）轟炸，這有助於確保整個樣本的均勻性。此外,901還具有真空功能,可提高處理速度,提高精度和控制水平。TEGAL 901采用濕法和幹法蝕刻技術，采用氫氟酸和緩沖氧化物蝕刻溶液。這種組合可以實現多層次的蝕刻，更高層次的蝕刻精度。此外，901采用幹式蝕刻工藝，采用三氟化氯等蝕刻氣體，最大限度地減少表面損壞，提高蝕刻效率。TEGAL 901具有多種安全功能,旨在保護操作員免受傷害。這些特性包括一個封閉的處理室，該室配有傳感器，如果檢測到不安全的壓力、溫度或氣體濃度，傳感器就會激活。此外,901配備了溫度和壓力截止系統,以便在檢測到不安全情況時自動關閉處理。總之，TEGAL 901是一種高質量的蝕刻器/asher，專門設計用於半導體制造過程。其先進的特性，如RFF轟擊和幹蝕刻技術，提供優化的性能，而其安全特性保護操作員免受傷害。901是一種可靠高效的蝕刻材料工具，效果精確可控。