二手 TEGAL 901 #9292154 待售

TEGAL 901是一種蝕刻/asher設備，設計用於從多種不同的材料生產高質量、高分辨率的物理結構。901利用先進的基於等離子體的蝕刻技術，能夠以最短的時間和工作時間提供近乎完美的結果，並具有卓越的精度和可重復性。TEGAL 901采用閉環氣體控制系統，以確保利用氧氣、氙氣和其他氣體的適當比例，創造出最佳的蝕刻和灰分速率。這種氣體使用量受到密切監測，並自動調整，以確保整個工作期間過程的參數保持不變。這樣可以加快蝕刻和灰燼時間,而不會犧牲結果的質量。901還有一個子像素掩碼生成單元,它允許在材料上蝕刻精確、復雜的圖案。此功能可用於為存儲芯片、傳感器和微電子等設備創建詳細的電氣布局。TEGAL 901還具有激光制導無掩模蝕刻（LGM-E）功能,可在不帶掩模的情況下精確調整蝕刻過程。這在密集和復雜的微電子產品的生產等應用中尤其有用。901還配備了Mass Finish Machine （MFS）選項，使其能夠在蝕刻後處理額外的材料，如接線、添加劑、電鍍、接觸結構等。這使TEGAL 901的應用進一步多樣化，因為它現在可以用於制造各種物理電子產品。總而言之，901是一臺功能強大、精密的機器，擁有一系列強大的功能，適合各種用途。它在蝕刻和加工方面的能力使其成為眾多應用程序的理想解決方案。