二手 TEGAL 901 #9408120 待售

TEGAL 901是一種自動化晶片生產設備，利用先進的蝕刻技術，以精確的方式生產定制的晶片。該系統能夠在多種材料上進行高分辨率、高精度晶圓的生產，包括矽、砷化氙和類似金剛石的材料。蝕刻工藝旨在減少熱損傷，保持加工材料的質量。該裝置采用了可變蝕刻時間和先進的彈性匹配蝕刻配方來實現卓越的工藝控制，從而實現了卓越的生產吞吐量和產量。901配備了一個集成的氣體櫃子，用於分配蝕刻過程所需的酸性蒸氣。這臺機器能夠進行各種濕蝕刻和幹蝕刻。濕蝕刻包括選擇性蝕刻、熱磷光蝕刻、濕爆破。這些過程提供了良好的過程控制、均勻性和更高的產量。TEGAL 901上的幹蝕刻旨在降低蝕刻過程中的汙染風險。該工具采用ICP-RIE（感應耦合等離子體反應性離子蝕刻）工藝，該工藝在較高的溫度下運行，以促進均勻性，並在蝕刻表面形成更好的輪廓。該資產還提供了獨特的MEMS蝕刻工藝,該工藝針對Micro Electrical Mechanical Systems產品進行了優化。901專門設計用於提供一種蝕刻模型,該模型能夠以低於競爭對手的成本生產更高產量的產品。設備嚴密的工藝控制、均勻性和精確度為各種產品類型提供了更好的生產質量和產量。集成氣櫃允許更快、更高效的蝕刻工藝，其先進的彈性匹配蝕刻配方提供優越的工藝控制和產量。