二手 TEGAL 901ACS #293651580 待售

TEGAL 901ACS是由半導體加工設備的領導者TEGAL Corporation設計制造的蝕刻器/灰燼。901ACS專為高性能等離子體蝕刻和清潔應用而設計。它具有同類產品中最高的吞吐量之一,允許用戶在保持卓越精度的同時實現更快的處理時間。它的雙腔室設計允許用戶在同一腔室實現蝕刻和清潔過程。TEGAL 901ACS配備了前置氣櫃和簡化的氣體輸送設備，通過提供標準化氣體和簡化維護來降低成本。其精密光學和自動化控制系統有助於確保可重復、可靠的工藝結果。此外，一個大視口提供了一個通暢的查室視圖，用於過程控制，易於維護，並查看整個過程。901ACS的高功率射頻發生器能夠產生400瓦、13.56 Mhz的等離子體源。該單元還具有廣泛的工藝配方,可提供更多的靈活性。此外，TEGAL 901ACS還采用了先進的離子源設計，有助於在蝕刻或清潔性能方面提供最佳的均勻性。901ACS的設計考慮到了安全性和可靠性。它具有多種有助於保護人員、設備和環境的安全功能。其中包括專用的冷卻器和水過濾裝置、紅外安全傳感器以及故障安全關機。綜上所述,TEGAL 901ACS結合了強大的性能、最先進的技術和先進的安全功能,為用戶提供可靠的蝕刻和清潔體驗。對於需要在最短時間內取得優異工藝效果的用戶來說，這是一個絕佳的選擇。憑借其高吞吐量、精密光學和先進的控制工具,901ACS能夠提供半導體工程師和技術人員都在尋找的結果。