二手 TEGAL 901ACS #9395520 待售

TEGAL 901ACS蝕刻/灰分是一種先進的蝕刻設備,功能卓越。它具有降低汙染風險的自我控制功能,以及允許更大吞吐量和成本節約的單片批處理過程。該系統有機電設計，提供精確一致的操作，並有一個過程控制器，具有用戶友好的界面，可以方便地訪問單元設置和參數。901ACS蝕刻器標配兩種工藝氣體：SF6和氯氣。氯氣用於蝕刻矽片，SF6氣體用於去除蝕刻過程中產生的表面汙染物。此外,該機器還可以處理從100 mm到300 mm的各種晶圓尺寸。自動檢測晶圓大小,並相應調整工藝參數。TEGAL 901ACS有一個可容納多達12個晶圓的大腔室，可以同時處理。該工具還具有自動冷卻功能，確保腔室環境保持在安全溫度。這也有助於保持工藝參數的一致性。901ACS利用雙頻交流電源進行精確的過程控制,從而實現結果的可重復性。此外，該資產還具有過電壓、過流保護和地面探測等多種安全特性。該型號還具有模塊化設計，便於升級和擴展設備的能力。TEGAL 901 ACS蝕刻器/分類器具有各種為滿足許多應用程序的要求而量身定制的工藝選項。其堅固的設計使其適合大批量生產,而且易於使用,使其成為小批量實驗室的理想選擇。它的準確性和靈活性使得它成為需要精確蝕刻參數的應用的完美解決方案。