二手 TEGAL 901B #9262409 待售

TEGAL 901B 蝕刻器/asher是一種高性能、重型設備,旨在為各種大容量應用提供卓越的處理效果。它配備了先進的特點，提供卓越的性能和卓越的效果，蝕刻和灰化高密度，大體積的基板。901B的厚7英寸（18厘米）石英合金腔室和雙10英寸（25厘米）合金表面蝕刻器具有先進的加工能力,可處理高達7 x 8.5英寸（18 x 22厘米）的大表面積。它還包括一個高分辨率的濾鏡加光學設計，給用戶更高的分辨率高達1微米（0.001毫米）。TEGAL 901B堅固的設計提供高達38 fpm （67.3 cm/s）的高速，並確保它成為以著名蝕刻膜技術處理大型基板的理想系統。它還具有板載分布式計算技術（DCT）,有助於最大限度地提高蝕刻速度和效率,以及晶片到模具或機箱-過濾器的兼容性。901B憑借先進的電子回旋共振（ECR）氣體等離子體技術，取得了優異的蝕刻和灰化效果。它能夠利用反應性氣體和非反應性氣體模式進行蝕刻和灰化。而且，由於其精密的ICR（離子回旋共振）選項，它也可以用於退火和濺射蝕刻。TEGAL 901B包括一系列用戶友好的功能,例如直觀的用戶界面、多級訪問控制以及遠程控制中心（RCC）服務器集成選項,以確保性能、質量和安全性一致。它還配備了與IBM兼容的PC控制單元和EDX（電子色散X射線）視覺計量機，以確保蝕刻和灰化結果的準確性和精確度。總體而言，901B是一種可靠且用途廣泛的蝕刻器/asher工具，可提供大型基板的卓越蝕刻、灰化和退火效果。其先進的功能，加上靈活性和直觀的用戶界面，使其成為大批量生產應用以及研發過程的理想資產。