二手 TEGAL 901e /903e TTW, #12388 待售

TEGAL 901e/903e薄膜晶片（TFW） 蝕刻器/asher是一種高性能系統,專為高級工藝控制和優越的晶片吞吐量而設計。它具有高速和平穩管理的生產吞吐量,確保了關鍵挑戰結構的完美無瑕的過程。這種用途廣泛的蝕刻器/asher包含了廣泛的過程變量，如蝕刻前體、氣體和壓力監測器，用於高度靈活、可靠和可重現的鉆機。TEGAL 901e/903e的SF 1000微加工技術是以精確的適應性來支持制造的進步。自動雙級蝕刻器的設計能夠快速有效地提供卓越的蝕刻精度、均勻性和整體產量。這種可重復的精密邊緣保持了近乎完美的掩蔽，減少了對基板的傷害。集成的側壁分析功能使直觀和定制的過程控制能夠實現所需的蝕刻特性和結果。TEGAL 901e/903e提供易於使用的推出功能。直觀的用戶界面允許使用可編程的流程配方和步驟簡化啟動和關閉。為確保質量恒定,過程跟蹤功能提供了準確、方便的分步跟蹤功能。實時數據分析使操作員能夠根據晶圓特性和響應來調整參數。為便於靈活性和多功能性，901e/903 e與一系列TEGAL工藝前體和與THP兼容的氣體兼容，包括氯氣、三氟化氮和富氧空氣。TF 1440晶圓處理程序提供先進的機器人晶圓操作能力，符合TEGAL工藝防腐劑（後綴「T」）。TEGAL 901e/903e TFW 蝕刻器/asher是半導體行業大批量生產的理想選擇，提供可靠、精確的接觸孔、扇出和金屬沈積的表面清洗和蝕刻。此蝕刻器/asher具有提供卓越的吞吐量和不妥協的產品質量的潛力。