二手 TEGAL 901e TTW #9248952 待售

TEGAL 901e TTW是一種蝕刻器/asher，設計用於小晶片和基板的蝕刻和合金化。它提供單室處理，支持熱處理，如RTP（快速熱處理），離子輔助沈積（IAD）和生物膜沈積，證明高產量和快速周轉時間。901e TTW采用12區石英管式爐,具有獨特的擋板設計,可最大限度地提高均勻性和良好的壓力控制,最大限度地減少泄漏。爐子有一個寬大的工藝包絡，可以容納6英寸的基板，最多可容納12英寸。（300mm）等效橫向均勻度。它還提供了出色的溫度均勻性，極好的重復性和高吞吐量。901e包括0.5微米的計算機控制、高精度、高速x-y定位精度，以及用於高密度介電沈積的先進TEOS（原矽酸四乙酯）源。設備由高性能軟件包控制，該軟件包旨在提供過程自動化和靈活性，以及用戶友好的圖形用戶界面，用於高效的基板計量。該系統還具有集成的等離子體源和石英管等離子體技術，為灰化和沈積過程提供專用靶膜的快速和可重復的等離子體沈積。該裝置具有較高的沈積速率，非常適合於高性能MEMS和邏輯設備。TEGAL 901e TTW提供快速的響應時間、一致的一致性和高吞吐量。創新設計采用先進的熱管理機器，最大限度地減少循環時間，避免表面汙染。該工具是高度可靠和一致的，並嚴格測試每一個新的工藝配方。它的低成本操作，加上一個行之有效的成功記錄，使得901e TTW成為各種晶圓和基材加工應用的非常理想的工具。