二手 TEGAL 901e #293594314 待售

TEGAL 901e是一款考慮生產半導體器件而設計的蝕刻器。它能夠在可以自動化或手動控制的單面或雙面蝕刻系統中運行。TEGAL 901 E利用了一種用氟碳氣體分子等離子體蝕刻的抗蝕劑塗層晶片。這種等離子體是由射頻能量、氙和氧氣的組合產生的，它們將碳氟化合物分子分解成小分子，在晶圓表面充當蝕刻劑。這是有利的，因為可以精確控制反應，使圖樣的蝕刻細節高於濕蝕刻劑。設備還包括裝有氣體混合物的真空室以及射頻和直流電源。901e提供13種不同的功率級別,可以優化過程。它還具有三個過程計時器,允許控制過程時間,以確保特定的蝕刻深度。901 E可以在晶片上以2-3%的均勻度進行蝕刻,並具有將圖樣蝕刻到0.5微米的能力。該系統還可以容納直徑達200毫米的晶片。與提供類似功能的類似系統相比，該單元本身相對經濟，TEGAL 901e在世界各地的許多半導體實驗室中使用。TEGAL 901 E的維護是最小的,而且該機器的設計是為了簡單的使用和操作.它可以用在包括矽、鋁、鈦在內的大多數種類的基板上。901e用途廣泛、可靠,是尋求高品質蝕刻器者的合適選擇。