二手 TEGAL 901e #293595381 待售

TEGAL 901e Etch/Asher Equipment是一種多功能並行處理系統，設計用於基於蝕刻/asher技術的制造和研發。它配備了10062個獨立的加工區，使用戶可以利用並行處理技術。利用多階段、多氣體的方法，TEGAL 901 E可用於沈積、金屬蝕刻、氧化物去除、掩蔽、選擇性蝕刻等多種蝕刻/粉刷應用。901e利用耐腐蝕的陶瓷室，可加熱至高達650°C的溫度。它由先進的鎳超合金構成，用於優化熱性能和電機控制。這與兩個區域的工藝室設計相結合，每個區域用氣密波紋管獨立地與另一個區域密封。這樣可確保兩個區域之間的處理條件一致。該單元通過一臺先進的計算機控制控制臺進行控制。這有助於自動對工藝參數進行排序,如基板預清洗、溫度和射頻功率控制、電離源選擇、壓力和蝕刻/灰度循環時間。901 E還具有附加幾個外圍設備的能力,如揮發性有機物監測器、晶片處理刀片和真空計。這臺蝕刻/Asher機器可用於各種氣體，包括Cl2、BCl3、SF6和NF3。該工具通過計算機控制控制臺及其眾多外圍設備易於控制和維護。TEGAL 901e是一種用於蝕刻/粉刷應用的功能強大且可靠的資產,具有應用於多種工藝化學的靈活性。該模型可靠的陶瓷室加熱能力和兩區能力使其成為芯片生產、太陽能電池制造和光伏行業的理想應用。