二手 TEGAL 901e #293616017 待售

TEGAL 901e是一種高級蝕刻器/asher，設計用於各種電化學及相關工藝。它采用多室設計，能夠容納大型工具捕獲物。四個腔室中的每一個都在船上獨立控制，允許同時蝕刻和粉刷每個腔室中不同的基材和材料。TEGAL 901 E配備了三區溫度控制設備，允許您分別調節工具室、固體前體輸送室和蝕刻室的溫度。溫度被調節到+/-1°C精度以內，在蝕刻或灰化過程中提供對工藝參數的精確控制。901e還包括五氣混合輸送系統，讓你在精確的範圍內調節氧氣、氯氣、氙氣、氮氣和二氧化硫的水平。功能強大的901 E利用實時數據采集單元將流程數據傳輸到PC或其他計算機接口。此信息可用於更改流程和監視性能。TEGAL 901e具有可調節速度和間距參數的精確模式。可選擇的蝕刻流速、激光功率和冷卻機可有效去除不希望得到的材料。TEGAL 901 E還具有高速掃描功能，使其能夠對250 µm至10 mm的基材厚度進行蝕刻/灰化。901e具有直觀的圖形用戶界面和內置液晶面板。它包括幾個安全功能，如自動壓力控制工具和熱切斷開關。直觀易用的控制軟件允許用戶輕松訪問和保存流程配方和配置文件數據。901 E是一款先進而強大的蝕刻和灰化工具，非常適合電子和電化學原型制作和制造。