二手 TEGAL 901e #293618054 待售
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TEGAL 901e是一種蝕刻器/asher，是一種用於蝕刻和粉刷基板的裝置。TEGAL 901 E能夠在直徑不超過8英寸的基板上進行蝕刻和灰分操作。901e設計符合人體工程學,易於使用。它具有易於讀取的液晶屏和自校準微處理器控制器。這臺蝕刻和灰化機還設有氣流控制閥，其射程為30-400 mm H2O，使操作員可以調整氣壓，進行更精確的蝕刻和灰化。901 E配有光學監控設備，配有攝像頭，用於查看蝕刻和灰化區域，以定位基板。這樣可以使基板精確對齊,並確保蝕刻和灰化過程準確。TEGAL 901e還設計了一個基板旋轉控制，以選擇一個基板速度範圍高達每秒120度。這提供了各種食譜選擇性蝕刻和灰分的靈活性。它還具有一個冷卻的子升降機組件，它允許基板在蝕刻和灰化過程中被He-冷卻。TEGAL 901 E有兩個高靈敏度氣體劑量系統，集成在其控制面板中。它還擁有先進的機載粒子監測系統，可以讓操作員檢查操作環境中的粒子水平。901e具有退火爐和熱傳遞控制的蝕刻和灰化過程。它還有一個集成真空單元和一個烘焙站，以進一步改進蝕刻和灰化工藝。901 E具有以下幾個安全功能：緊急停止按鈕、低電流監測機和用於檢測紫外線和磨損危險的紫外線照明器。TEGAL 901e專為聚合物薄膜、鋁箔和薄膜等敏感基板的蝕刻和灰化而設計，以實現高蝕刻率、重復性和均勻性。這款蝕刻器/asher非常適合光掩模、液晶顯示器、有機發光二極管、薄膜等基板的蝕刻和粉刷。TEGAL 901 E是一種先進、可靠的設備,能夠對任何基材進行成功的蝕刻和灰化操作。
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