二手 TEGAL 901e #293635731 待售

TEGAL 901 e是一款高級蝕刻器，旨在產生具有小特征或狹窄幾何形狀的高度精確的圖案和圖案。它是市場上最可靠、最有效和最高效的蝕刻器之一。該系統利用等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）和其他技術蒸發材料，並利用模板創建特征，從而能夠創建尺寸到納米級的精細、定義的特征。TEGAL 901 E構建在行業標準平臺上,能夠提供幹凈、可重復的結果,同時需要最少的維護。該設備采用自定位工作臺,內置靜電卡盤,直徑可達500毫米,可容納各種基板和材料。基材在受控的氣氛中加工，確保可靠、可重復的加工。901e是完全自動化的,具有觸摸屏用戶界面,允許選擇用於增量調整的配方。配方存儲在內存中以供將來參考，從而允許從一個應用程序到另一個應用程序的模式快速變化。該系統利用多發射離子源，以不同角度發射多種能量的離子，確保材料的圖樣準確。其真空系統是最先進的，能夠延長壽命和高精度蝕刻。901 E設計為執行多層次蝕刻的精密圖樣，非常適合半導體器件生產等應用。TEGAL 901e是一種高度可靠且功能強大的蝕刻器,在多層且具有挑戰性的高級設備制造設置中提供卓越的控制。其智能特性和頂尖性能使其得以用於專業設置和先進的材料研究應用。其可靠的性能和高效的操作保證了優異的效果.