二手 TEGAL 901e #293652770 待售

TEGAL 901e
ID: 293652770
晶圓大小: 6"
Plasma etcher, 6".
TEGAL 901e是為高精度應用而設計的功能強大的蝕刻器/asher。它用於在包括金屬、合金、塑料、陶瓷和半導體材料在內的多種材料上創建復雜的圖樣、微蝕刻和深層結構。TEGAL 901 E具有雙波束、雙頻率、雙脈沖調制等特點,對結果的準確性和可重復性毫不妥協。它采用了一個獨特的無柱塞自組裝反應室,可選擇的壓力範圍為50至250毫巴。該設備采用溫度控制環境,能夠在高真空環境中達到高達2500 °C的工藝相關溫度,從而實現高精度等離子體蝕刻。901e配備了高分辨率的X-Y掃描儀和用戶選擇的z軸機動位移控制,可以精確控制蝕刻深度。它還具有高速蝕刻速率,允許系統在一小時內進行1.5萬次以上的蝕刻。901 E旨在提供靈活性,允許用戶選擇幾種蝕刻類型,包括濕蝕刻、幹蝕刻、反應性離子蝕刻、深反應性離子蝕刻,以及每種蝕刻類型的不同化學成分。該單元還具有用戶友好的圖形用戶界面,允許用戶方便地編輯配方和從遠程界面控制機器。TEGAL 901e是各種蝕刻應用的理想選擇,包括通過集成電路的閘層進行無功離子蝕刻,為醫療植入物創建錯綜復雜的圖樣,以及為顯示器和燈具創建高度詳細的圖像。它也被用於表面處理和微蝕刻,例如用於制造非常復雜的納米結構的各向異性蝕刻。總體而言,TEGAL 901 E提供了精確和可重復性,使用戶可以輕松快速地蝕刻復雜的設計,同時保持卓越的精度。901e具有通用的設計和易於使用的用戶界面,是尋找功能強大且精確的蝕刻器的研究人員和制造商的絕佳選擇。
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