二手 TEGAL 901e #293654398 待售

TEGAL 901e是一種反應性離子蝕刻器，能夠同時進行蝕刻和灰化處理。它是一款最先進的半導體工藝工具，具有平板顯示器、直觀的用戶界面以及高容量、高通量的操作。利用先進的等離子體蝕刻技術，TEGAL 901 E提供了光刻膠等材料的精確、一致的蝕刻和灰化。901e 蝕刻器/asher有三個室-雙蝕刻室和一個asher室。蝕刻室用來蝕刻材料，而asher室則用來清除表面殘留物和碎屑。本產品采用直流電源供電，具有高性能、全計算機控制、基於微控制器的設備。901 E采用了高真空系統，提供了出色的操作簡潔性、精密的工藝控制以及無汙染的晶片。TEGAL 901 e 蝕刻器/asher包括一個高精度、全彩色的液晶觸摸屏顯示屏,用於進行蝕刻和灰度設置及調整。這些參數對於蝕刻和灰化過程都是可調的，包括速率、溫度、壓力和氣體成分。可以配置和存儲所有參數和設置,從而可以快速設置和輕松操作。在蝕刻過程中，TEGAL 901 E具有兩個內部不平衡磁控管濺射源，使材料均勻沈積在晶片上。在灰化過程中，提供了兩個同時利用冷等離子體灰化器和熱等離子體灰化器的負載鎖定灰化器腔室。901e的射頻電源還具有一個完全由計算機控制的單元，允許精確控制蝕刻和灰化過程。901 E 蝕刻器/asher配備集成控制機，一次最多可控制16個晶片。晶片被容納在一條皮帶上，允許對多個晶片進行批處理。TEGAL 901e還配備了快速樣品加載/檢索工具,從而實現了高生產率和吞吐量。TEGAL 901 E 蝕刻器/asher是一種適用於任何生產環境的高效、精確且經濟實惠的蝕刻和灰化解決方案。