二手 TEGAL 901e #293723711 待售

TEGAL 901e是先進的單晶圓介電蝕刻和Asher的平臺。該設備設計用於處理200毫米晶片，並用於支持濕法和幹法。蝕刻器/asher是一個模塊化系統,可在水平和垂直配置中實現快速、精確的蝕刻過程控制和溫度均勻性。該單元擁有內置的智能過程控制技術，可方便調試和快速反應時間。作為蝕刻器,TEGAL 901 E建立在與其前代產品相同的原則之上,以提供更高的吞吐量和更大的過程控制。該蝕刻器還能夠產生高長寬比蝕刻,精度高達+/-0.005 um,並最大程度地減少晶圓頂部的損壞。901e提供先進的等離子體化學控制,使微粒和微粒最小化.此外，該機利用增強的光束控制技術在晶圓的整個表面提供均勻的蝕刻。該工具還具有可持續的水下過濾器資產，可有效捕獲顆粒並最大程度地減少汙染。901 E具有專用的側壁保護淋浴和加熱淋浴板,可安全可靠地進行蝕刻和灰化。此外,該模型還包括一個FX-Solid端口,可以在晶圓運行期間進行現場SEG測量。TEGAL 901e配備了創新的觸摸屏界面，使用戶能夠快速、輕松地設置和監控流程。該設備還提供了後處理追蹤性和集成的媒體管理系統，可實現高效的流程監控和CD可重復性。為了提供精確的化學控制，該裝置安裝了一個復雜的自動化電路，可以不斷監測和維護過程參數。此外,TEGAL 901 E的數據通信協議允許與外部設備和行業標準軟件輕松集成。901e為符合最高安全標準而打造，是生產環境的理想選擇。該機器堅固的結構確保了可靠和安全的操作，使其成為先進晶圓加工的可靠的蝕刻/灰度解決方案。