二手 TEGAL 901e #293811529 待售

TEGAL 901e是為晶圓的精密蝕刻和/或灰化而設計的高級蝕刻器/灰化器。TEGAL 901 E以TEGAL經過驗證的900系列體系結構為基礎,結合了新材料、創新工程和最新技術,能夠高產生產各種設備結構。901e設計為具有模塊化體系結構,以便於維護和升級。蝕刻器/粉碎器設備采用最優質的材料制造,確保提高性能和耐用性。該系統采用了最新的蝕刻和清洗技術，包括多重真空室設計、改進的氣體屏蔽和低壓低溫（LP/LT）蝕刻工藝。處理150 mm晶片的能力提高了901 E的效率,因為它可以減少晶片之間的清理並提高吞吐量。TEGAL 901e還方便地配備了集成的溫度控制單元，允許整個蝕刻室保持一致的溫度環境。這確保提高蝕刻均勻性和防止汙染。該機器還配備了自動監控工具，使操作員能夠跟蹤其過程狀態，並根據需要進行調整。TEGAL 901 E專為提供準確、高質量的設備蝕刻和清潔而設計。901e包括一系列流程優化工具,包括自動化流程調整、流程模擬和診斷功能,以進一步提高設備的準確性和質量。此外,該資產還擁有一套直觀的用戶友好軟件,使操作和維護更加輕松。該軟件可幫助操作員在幹凈、受控的環境中安排、監視和管理流程。它旨在確保最佳質量控制、靈活的流程調度和最小的停機時間。901 E是先進半導體器件生產中領先的蝕刻器/灰化器。它旨在提供快速、精確的蝕刻和清潔功能,並具有定制過程設置的靈活性,以及自動化監控模型的便利性。TEGAL 901e是各行業半導體生產的理想選擇。