二手 TEGAL 901e #70079 待售

TEGAL 901e 蝕刻器/asher是一種高度先進的機器人,能夠以無與倫比的精度執行高精度、高容量的蝕刻和灰化過程。TEGAL 901 E是一種可定制的希金斯測速儀/asher,特別適用於半導體行業的各種先進應用。901e具有高度先進的化學傳遞系統,每次快速精確地提供精確的蝕刻和粉刷化學物質。這樣可以確保每個基材蝕刻和灰化過程在定義的規範內快速準確地完成。901 E還具有自動定位晶片以提高吞吐量的高級級系統。此外，它能夠精確控制任何蝕刻和灰化工藝的分辨率和定義，使用戶能夠充分利用其底物，從而確保最準確的工藝和結果。TEGAL 901e構建在一個完全集成的軟件平臺上，使其能夠簡單地集成到現有流程中，並且配備了強大的流程控制技術，允許復雜的蝕刻和ashing流程按照嚴格的規格定制。它還能夠自動控制蝕刻和灰化工藝參數，以確保該工藝順利進行。TEGAL 901 E最有益的特性之一就是它能以廣泛的材料厚度進行蝕刻和灰化。這是通過一個獨特的多級蝕刻選項來實現的，在該選項中，蝕刻可以在任何晶圓厚度上進行，從而使用戶能夠充分利用其基材。用戶還可以訪問各種高級流程選項和自定義工具,從而可以微調其蝕刻和灰化流程參數。901e還具有多種傳感器,允許用戶監視過程步驟、跟蹤過程參數以及蝕刻和灰化過程的結果。總體而言，901 E 蝕刻器/asher是一種先進、功能強大、可靠的蝕刻和ashing機器人，非常適合各種半導體應用。其先進的化學和階段系統、精確的工藝控制以及廣泛的蝕刻和灰化選項使用戶能夠充分利用其底物和工藝。