二手 TEGAL 901e #70082 待售

TEGAL 901e是設計用於微電子學、醫療儀器制造、生命科學、納米技術等廣泛行業的先進蝕刻器/asher。它提供了廣泛的特點，高通量和精確蝕刻，允許制造微型和納米設備和電路。TEGAL 901 E以先進的電子束光刻技術為基礎，提供精密、高通量。它可以實現超精細蝕刻,在各種基材和材料上創建復雜的圖樣和特征。該設備配有一個電動級和一個光學顯微鏡，用於基板的精確對準，以及一個用於基板定位和蝕刻深度的真空夾緊系統。這樣一來,該設備甚至可以將微小的圖案刻蝕到納米級.901e利用砷化的電子槍，可以在 到 的加速電壓範圍內產生範圍廣泛的束流。這允許創建細線寬度和制造現代微型和納米設備所需的其他復雜特征。該單元還具有用於調整光束亮度和焦點以及對準和陣列的集成軟件。它也與大多數標準的工藝室完全兼容，可以在各種各樣的應用中使用。該機器配有一個12英寸晶片載波板，能夠處理直徑不超過8英寸的晶片。901 E還包括一系列確保人員和工具安全的安全保護機制，如互鎖資產、鹵素燈預警模型、E-Stop開關、多路復用開關以及具有安全功能的水冷電路。總體而言,TEGAL 901e是一款功能強大、用途廣泛的蝕刻器/asher,非常適合現代微型和納米設備制造應用。它易於處理,具有直觀的軟件界面、一系列安全功能以及用於復雜設備制造的精度和吞吐量功能。