二手 TEGAL 901e #9004063 待售

TEGAL 901e是一種批量型等離子體蝕刻/脫粒設備，設計用於維持高產產品的高速率生產吞吐量。它能夠在低壓和高壓條件下運行，並為各種材料（包括金屬、塑料和陶瓷）的蝕刻、穩定和/或脫膠提供各種工藝選擇。TEGAL 901 E被認為是TEGAL的高級蝕刻器，它是蝕刻/脫墨系統的領先生產商。它按照國際質量標準制造，並利用高質量的部件。該系統由兩個分庭組成；一個主動的和一個被動的。這種雙腔室結構確保了最大的蝕刻效率，並消除了在較高腔室壓力下可能產生的有害副產物。901e具有工業級電源以及主動和被動節能功能,可確保可靠和可重復運行。集成微處理器可以將壓力保持在+/-0.5 Torr以內，並可控地調節等離子體源壓力和偏壓。惰性氣體單元可以有效控制氧化。901 E是為了最大安全而設計的。它配備了壓力傳感器、腔室互鎖開關、緊急停止開關和故障安全控制器，以便在必要時對危險過程進行監控和停止。此外，機器還通過內置接地工具和保護人員免受有害氣體和顆粒汙染的內室旁路過濾器，確保操作員的安全。內置的、易於使用的觸摸屏控制臺允許用戶實時訪問參數設置和監控蝕刻過程。直觀的圖形用戶界面使用戶能夠輕松監控流程的關鍵方面並進行必要的調整。TEGAL 901e可以編程為自動操作過程，使操作和維護更加容易。TEGAL 901 E是一種高級蝕刻/拆卸資產,具有高生產率、可重復結果和可靠的安全特性。其先進的設計使其適合廣泛的材料和工藝，直觀的用戶界面可以使操作變得簡單方便。