二手 TEGAL 901e #9009940 待售

TEGAL 901e是一種蝕刻器/asher,旨在提供高水平的性能和靈活性,同時提供可靠、準確的蝕刻和研磨工藝。該蝕刻器可與III-V半導體材料、MEMS材料等兼容基板結合使用。TEGAL 901 E作為一種低壓、等離子體輔助設備,在任何環境中都能提供卓越的處理能力,包括高真空、低壓射頻和低壓氫氧環境。901e由堅固的100%不銹鋼腔室構成,包括一個帶有EHD加熱器和傳感器的安全外殼。這允許等離子體過程在廣泛的溫度和壓力範圍。蝕刻器具有石英窗口視口，允許現場觀測。獨立控制和加熱的屏蔽可以消除主要蝕刻/灰分的汙染和交叉汙染。901 E可以在手動和全自動模式下使用。對於手動操作，用戶可以獨立、精確地控制蝕刻過程中的壓力和射頻功率。再者，蝕刻器具有四維順序特征，允許用戶設置一個蝕刻和灰化參數序列，並以最小的重置時間多次重復。此功能有助於最大程度地提高流程可重復性和生產率。綜合診斷和控制系統允許用戶顯示過程參數，監控和控制多個處理參數，以及存儲、召回和轉移配方。該系統還提供高級數據日誌記錄以跟蹤與流程相關的歷史記錄,因此用戶可以有效地診斷流程問題。TEGAL 901e采用多種晶片處理方法設計，從手動晶片加載到盒式兼容晶片傳輸，再到隔離的負載鎖定、負載室和卸載室。例如，鎖載室允許對無顆粒蝕刻和灰化進行獨立的大氣壓力控制。TEGAL 901 E結合了所有這些功能,為研究和生產應用程序的蝕刻和灰化過程提供了多功能性和卓越性能。它在生產高質量元件時具有高吞吐量、重復性和可靠性。