二手 TEGAL 901e #9016256 待售

TEGAL 901e是Si、SiO2和GaAs等大面積基材光刻加工的高性能蝕刻器/灰化器。這種組合蝕刻器/asher是基於一種高效、低壓的側壁註射等離子體源，使用共振降低蝕刻氣體消耗，從而最大限度地減少汙染，減少晶圓加工所需的時間。TEGAL 901 E具有廣泛的等離子體參數，如壓力設置、氣流設置和射頻功率設置，使用戶能夠優化其工藝參數，提高其產品的蝕刻速率和質量。蝕刻器/asher還提供了出色的均勻性,以及精確、高質量的蝕刻。此外，901e能夠使用常規濕化學蝕刻劑進行不能進行的光敏處理。901 E配有集成診斷,可讓用戶實時監控流程狀況。這些診斷參數包括蝕刻速率和質量、射頻功率、真空壓力和氣流。該系統為用戶提供增強的過程控制,並允許優化其過程以提高吞吐量和產量。TEGAL 901e還在整個基板上提供了高度的過程均勻性，由於高效、低壓的側壁註射式等離子體源設計。此功能在處理較大的基材尺寸時特別有用,與傳統的濕化學蝕刻劑相比,使用戶能夠獲得更多的晶圓批次。TEGAL 901 E采用雙室設計，為需要表面處理和灰度處理的蝕刻工藝提供了一個優越的平臺。Ashing chamber can be switched from a hot to cold mode,允許用戶在蝕刻和Ashing進程之間以最短的設置時間進行切換。901e除了具有灰化能力外，還為蝕刻工藝提供精確的定時和流量控制。901 E是要求苛刻的工藝（如光刻處理和其他光掩模及蝕刻要求）的理想蝕刻器/灰化器。TEGAL 901e具有先進的特性和高性能,是一種可靠且經濟高效的大面積基板蝕刻和灰化解決方案。