二手 TEGAL 901e #9071867 待售
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ID: 9071867
In-Line Single Wafer Plasma Etcher, 4" - 6"
Cassette to cassette
Currently configured for 6" wafers
Super Spatula transport
Generator: ENI ACG-10B
Monitor: Dec VT 520
MFC's: UNIT 8100
Atmospheric sensor for venting
Temperature controller: choice of Neslab or Tek-Temp
Dry pump: Edwards QDP40
208V, 3 phase.
TEGAL 901e是在半導體工業中廣泛使用的最先進的蝕刻器/asher。它是市場上用途最廣泛、功能最強大的灰燼之一,能夠執行廣泛的任務,從蝕刻到灰泥。TEGAL 901 E可靠且經濟實惠,其功能使其成為各種不同應用程序的完美解決方案。901e具有許多特點,使其成為所有類型的蝕刻和灰泥的絕佳選擇。它提供了各種各樣的氣體,其中包括氙氣和氧氣,以及各種蝕刻和灰化操作的理想溫度範圍。901 E還具有高效的電源和泵,可在整個工作區域提供穩定的氣流甚至溫度。此外,TEGAL 901 e還具有許多安全功能,例如溫度、氣體和壓力傳感器,以及顆粒濃度過濾器。TEGAL 901 E具有多種蝕刻和灰化技術,如自旋蝕刻、化學機械拋光、化學蝕刻和化學機械拋光。901e也能進行濕蝕刻工藝,因為它可以與濕板凳集成,以增加便利。為方便進行高效的蝕刻和灰化操作,901 E采用了用戶友好的PC控制系統。該系統提供了廣泛的功能,包括溫度、壓力和其他可定制的實時更新參數的實時圖表。TEGAL 901e還提供了多種配方和診斷程序以幫助確保其正常運行,以及用於快速原型制作和產品測試的配方上載功能。為確保最高質量的工作和準確性,TEGAL 901 E配備了大型梯田工作空間,方便樣品材料的移動。901e還具有氣體探測器和緊急空氣泄漏等多項安全功能,既保護操作員,也保護蝕刻和灰化操作。901 E是任何類型的半導體蝕刻和灰化操作以及其他更一般的應用的理想蝕刻器和灰化器。TEGAL 901 e高效、精密的設計,以及用戶友好的PC控制系統,使其成為各種不同蝕刻和灰化操作的絕佳選擇。
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