二手 TEGAL 901e #9072033 待售

TEGAL 901e是設計用於半導體制造的最先進的Asher/Etcher。該設備采用自動化操作，用戶可以快速準確地蝕刻和粉刷各種尺寸和材料的晶片。TEGAL 901 E利用高頻感應（HFI）技術實現了高質量的蝕刻速率和雙面化學灰化能力,滿足了廣泛的灰化要求。該系統還具有10nm的精度,既滿足蝕刻要求,也滿足asher要求。901e的魯棒性能來源於其先進的晶圓處理單元，該單元包括一個配備自動化工具頭的先進工藝室和一個集成氣體分發器機器。這允許用戶使用激光創建非常精確的模式,並確保最高級別的可重復性、準確性和吞吐量。此外，該工具還利用先進的真空資產實現了高效和可重復的真空壓力設置和順序。901 E具有高級控制軟件包,允許用戶手動或自動監視和控制所有進程參數。該型號還具有自動化晶片處理功能，允許用戶同時進行Etch和asher多達四個晶片，從而實現快速高效的大批量生產。集成的高精度閉環晶圓對準設備可實現精確的對準精度。TEGAL 901e由高級材料和組件構成，使其具有很高的可靠性和耐用性。該系統設計方便用戶和維護,具有易於使用的軟件界面以及先進的機械和電氣安全系統。總之，TEGAL 901 E是一種高度先進的Asher/Etcher，能夠針對各種半導體制造要求產生準確和可重復的結果。憑借其先進的晶圓處理單元、閉環晶圓對準機和自動晶圓處理能力，該工具旨在滿足各種半導體應用的高吞吐量和精度要求。