二手 TEGAL 901e #9181762 待售

TEGAL 901e是一種用於光刻和薄膜沈積技術的最先進的蝕刻/asher設備。該系統采用了最新的真空和反應室設計，使其異常可靠、可重復、精確。TEGAL 901 E還為中級單位提供了前所未有的成本效益。901e的反應室直徑為24英寸，采用頂載晶片支架。晶片支架和反應容器均采用不銹鋼制成，使機器具有極好的熱穩定性。該工具還具有令人印象深刻的溫度控制、熱電偶設定點和次環境通風功能,可實現各種工藝溫度。該資產采用雙源設計，允許兩個源在同一腔室內裝卸，提供無與倫比的吞吐量和效率。在處理過程中,可以以最小的幹擾加載和卸載源。901 E還提供了對金屬氧化物蒸發速率的精確控制，從而可以精確預測薄膜性能。TEGAL 901e是一個特殊的平臺，用於光刻、金屬氧化物蒸發、薄膜沈積、薄膜蝕刻和光敏剝離等工藝。它是一個可靠、可靠的模型,適用於一系列應用程序,對於中級系統而言具有很高的成本效益。它具有高度可靠、可重復的工藝周期、卓越的溫度控制、低維護要求和低運營成本,使其成為大批量生產環境中的傑出選擇。