二手 TEGAL 901e #9191347 待售

TEGAL 901e是為生產矽晶片及相關半導體元件而設計的最先進的蝕刻器/asher。它由先進、精確的閉環控制設備提供動力，該設備調節工藝參數，如蝕刻速率、溫度和壓力，為用戶提供一致和最佳的性能。TEGAL 901 E具有許多專門為蝕刻和灰化過程設計的控件和功能,包括高度精確的自動速率控制系統和閉環壓力控制單元,可提供精確的壓力控制和精確的重復性,確保一致的結果。此外，該裝置還包括一個集成冷卻機，它允許腔室和材料有效冷卻，提供提高精度和更高的產量。901e采用靈活、用戶友好的觸摸屏界面,易於操作,為所有過程控制和監控功能提供分步說明。該設備還能夠存儲和加載多達十種配方,非常適合快速、準確地生產各種不同的晶圓和組件設計,並且附加的安裝時間最短。901 E設計具有多種安全功能,包括危險溫度、內部壓力和泄漏的監控和預警系統。該蝕刻器還設計用於保持最佳工藝環境，溫度和壓力設置可變，氣體和蒸氣控制用強大的氙氣清洗。此外，TEGAL 901e還具有內置的顆粒收集工具，以保持工作環境的清潔和安全。TEGAL 901 E是專門為生產矽片及相關元件而設計的可靠且先進的蝕刻器/asher。它具有閉環過程控制、用戶友好的觸摸屏界面以及先進的安全功能，使其成為可靠、精確的蝕刻、灰化和晶片生產的理想工具。