二手 TEGAL 901e #9196408 待售

TEGAL 901e
ID: 9196408
晶圓大小: 4"-6"
Reactive ion etcher (RIE), 4"-6" ENI ACG-10T RF Generator THERMO NESLAB M75.
TEGAL 901e是一種高級蝕刻器/asher,設計用於專門為MEMS和半導體制造工藝而開發的蝕刻抗蝕劑。該設備采用高功率脈沖激光器,具有廣泛的可變參數,以適應廣泛的生產運行。它可以對包括銅、銨、鋁、矽、多晶矽、氧化物、玻璃在內的各種基材進行快速、準確、可靠的蝕刻。TEGAL 901 E是針對蝕刻抗蝕劑開發的精確控制而設計的。該設備的高功率激光允許對激光漂移、曝光長度和總蝕刻時間進行特定控制。此外,該設備還配備了多種安全功能,以確保生產運行期間的安全。這些安全功能包括一個緊急停止按鈕和一個聲音警報系統,如果i電纜斷開或激光達到其最大光束功率,該系統就會響起。該設備還配備了包括有源電源、激光發射器、光纖輸送光纖和計算處理器在內的數字控制單元。這種組合允許精確和一致的蝕刻結果。901e還具有易用性和較低的擁有成本。用戶可以快速更改參數並重新編程設備,而無需任何額外的時間或金錢。此外,該設備還設計用於使用柯達、Photopat和Positive等一系列蝕刻抗蝕劑。此外,該設備還與許多標準厚度晶片兼容,從而實現了一系列生產運行。總之,901 E是一種用途廣泛且可靠的蝕刻/灰化裝置,設計用於各種基材的精確蝕刻。其高功率激光、安全特性和數字控制單元使其成為半導體和MEMS行業的寶貴工具。此外,它的易用性和低擁有成本使其成為各種規模的生產運行的理想解決方案。
還沒有評論