二手 TEGAL 901e #9217066 待售

TEGAL 901e是一種蝕刻器/asher,它利用Soft X-Ray技術對材料進行成形和加工,其分辨率比其他制圖技術更精細。TEGAL 901 E使用高能X射線光子的可編程光束精確蝕刻掉層層材料，創造出清潔、光滑的邊緣和非凡細節所需的圖案和形狀。與其他系統相比,901e以相對較低的成本提供了尺寸小至1.5nm的高度精確和快速的材料樣式。它專為半導體電子和MEMS市場的研發和生產應用而設計。該設備可實現多種工藝,例如：批量和表面蝕刻、圖樣定義的沈積和去除、RIE（反應性離子蝕刻）、MEMS和其他高級高分辨率工藝。901 E在將軟X射線和光學系統組件集成為單一交鑰匙單元方面獨樹一幟。這種集成使蝕刻器/asher具有與市場上任何其他機器不同的全面功能。該工具專為全天候安全操作而設計,具有完全可定制的用戶界面,可提高常規流程質量並微調可重復的結果。TEGAL 901e基於高端、單件單色儀安裝的X射線源和多軸電子束準直光學器件，將光束引向目標基板。它還提供了一系列可變參數，包括劑量、焦點、蝕刻速率等等。閉環數字反饋環路監視蝕刻進度,以確保一致的結果,而一系列環境控制功能可確保資產安全高效地運行。TEGAL 901 E同時兼容鋁和氧化矽蝕刻化學品。901e提供了一套高級自動化功能,可提高效率和吞吐量,同時最大限度地降低成本和停機時間。它包括集成的配方管理（減少了復雜性和設置時間）,以及自動缺陷管理,可確保可重復的過程性能和提高的產量。此外,該模型還支持從多個位置進行遠程監視和控制。總體而言,901 E是用於研發、原型設計和生產需求的理想蝕刻器/asher。其集成的Soft X-Ray設備、用戶友好的界面和高精度的結果使其成為廣泛應用的可靠且經濟高效的選擇。