二手 TEGAL 901e #9228768 待售
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TEGAL 901e是為生產規模的半導體製造而設計的蝕刻器/asher。它是制造高長寬比通矽通氣（TSV）的有效解決方案。這種蝕刻器/asher使用先進的蝕刻技術來產生具有高長寬比的非常深的vias，同時保持優秀的表面光潔度。TEGAL 901 E利用低溫冷卻環境蝕刻實現了對蝕刻時間和溫度的精確控制。這樣可以進行蝕刻,而無需再進行任何加工後處理步驟,例如研磨或拋光。通過采用選定的電偏置場來實現更高的蝕刻速率,還優化了吞吐量。這種蝕刻器/灰化器還通過允許可變應用濕蝕刻化學品以及不同的氣體混合物來降低成本，以提高蝕刻選擇性並降低成本。901e還采用鈍化矽烷等離子體解吸源（PDES）技術的可變幾何設計,無需特殊蝕刻氣體,可精確控制蝕刻剖面。這種設計還可以對高長寬比蝕刻的蝕刻速率進行精確的微調。它還允許精確設置晶圓溫度，從而能夠微調蝕刻速率和減少熱應力。901 E還擁有先進的硬件配置,包括自動化的舞臺系統和熱板處理器。這允許精確執行蝕刻過程。該系統還完全可升級，以適應深層反應性離子蝕刻（DRIE）等高級蝕刻工藝。總體而言,TEGAL 901e是為生產規模的半導體制造而設計的先進、高效且經濟實惠的蝕刻器/asher。其低溫冷卻環境蝕刻和選定的電偏置場,以及其創新的設計和先進的硬件,是使該蝕刻器/asher成為制造高長寬比通矽通氣的理想解決方案的關鍵特征。
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