二手 TEGAL 901e #9244749 待售

TEGAL 901e是一款先進的等離子體蝕刻器/asher，設計用於電子電路和微結構表面的精密蝕刻。它能夠加工直徑不超過200毫米（8英寸）的基板，並且能夠達到每分鐘10微米的蝕刻速率。TEGAL 901 E利用直接耦合等離子體（DCP）技術將高反應性等離子體應用於底物。這種等離子體由射頻能量驅動，在901e內一個孤立的通風室內產生。此過程在整個工作區中創建精確、統一的蝕刻響應,而不會損壞基板的曲面。另外，整個加工室專門設計用來容納等離子體，防止其逃逸進入工作空間。901 E還能夠通過使用數控多維氣體分配設備進行精確的梁輪廓控制和設置。這種氣體輸送系統允許用戶精確控制光束輸送輪廓，消除任何垂直或水平的蝕刻步進載荷。TEGAL 901e提供了一系列先進的過程控制和監控系統，以確保操作過程中的準確性和一致性。它提供實時的溫度和壓力讀數,以確保精確和可重復的性能。該單元還提供各種傳感器和反饋系統，用於監控流程參數，並以易於理解的格式以圖形方式顯示生成的數據。此外，TEGAL 901 E還配備了一個集成的冷卻劑供應機，以幫助調節腔室和基板的溫度。這種冷卻劑輸送工具可以進一步控制和調整，以提高精度和可重復性。901e還提供安全方便的功能，如互鎖門開關，以防止資產意外操作。它還帶有自動高/低警報和相關的按鈕。總而言之,901 E是一種高效、精確的蝕刻器/asher,設計用於加工直徑可達200 mm的基板,並具有精確和可重復性。它的先進功能,包括實時溫度和壓力讀數、數字編碼光束輪廓控制、集成冷卻劑模型和安全系統,使其成為任何精密蝕刻或灰化應用的理想選擇。