二手 TEGAL 901e #9244751 待售

TEGAL 901e是一款最先進的蝕刻器/asher,旨在在當今要求最苛刻的半導體制造工藝中提供卓越的性能。TEGAL 901 E具有強大的500瓦感應源,旨在提供高接觸角蝕刻剖面,具有高產率和周轉時間。其物理和化學過程的組合確保了一致的、可重復的蝕刻模式，同時提供了對關鍵參數如蝕刻選擇性、過度蝕刻比率和蝕刻深度的優越控制。901e還使用獨特的高密度等離子體源，產生等離子體能量範圍狹窄的高功率離子。這使得它能夠選擇性地蝕刻有機和無機薄膜的纖維層，具有優越的、可重現的效果。它還減少了來自過程瞬變的非目標沈積物和其他人工制品，有助於最大限度地減少對敏感基材的意外損害。除了蝕刻功能外,901 E還具有高級控制系統,可對其流程進行高級監控。它使用光學端點檢測來精確控制蝕刻持續時間，並使用其原位傳感器系統實時監測操作參數。它還具有多個警告系統,旨在檢測流程條件的變化,並提醒用戶采取行動以防止任何不利影響。TEGAL 901e還提供高級診斷功能和內置配方，以確保最復雜的蝕刻項目準確高效地完成。配方庫允許用戶保存他們經常使用的蝕刻過程，甚至可以使用預先編程的配方來加快一些任務。TEGAL 901 E還設計了特殊的安全特性，如其內置的緊急關閉系統和操作員的主動監控，以確保隨時安全運行。總而言之，901e是一種先進的蝕刻系統，旨在滿足當今最苛刻的半導體制造工藝的需要。它提供了卓越的基材選擇性、高產量和可重復蝕刻模式，以及對蝕刻工藝的先進控制和安全監控。