二手 TEGAL 901e #9247682 待售

TEGAL 901e Etch/Asher是為超大型晶圓操作而設計的先進光刻設備。它為所有設備類型提供各種均勻、各向同性的蝕刻和平面化工藝。該系統利用電池側和基板制備技術的最新進展，對所有蝕刻和平面化過程提供卓越的統一性和控制性。TEGAL 901 E利用330mm的大型活動區域,可在單步和多步平臺中使用,從而在蝕刻結構方面提供更多動態配方和靈活性。該平臺由基於Windows的配方軟件TEGAL Recipe Manager（TRM）驅動，它使操作員能夠構建定制配方，簡化操作並提高吞吐量。901e的氙燈驅動光源和Smart Heater軟件控制器能夠在廣泛的溫度範圍內實現出色的照片可定義蝕刻效果,使操作員能夠在生產環境中兼具均勻性和速度。此外,該設備還具有高速傳輸和掃描功能,最大掃描速率為300 mm/秒。901 E的設計考慮了安全性,具有多種安全導向功能,並為操作員提供警告。該機器經過了多次故障安全測試，以確保高硬件和軟件可靠性。在支持硬件方面，TEGAL 901 e能夠連接到多種主機，提供與廣泛操作系統的兼容性。此外,該工具可以接受大多數標準光刻工具的CAM文件,並可以輸出確認數據文件以確保生產過程中的準確性和質量。TEGAL 901 E是超大型晶圓操作的理想選擇，提供高度的可靠性、靈活性和控制。該資產經驗證的一致性、速度和效率確保了用戶能夠以精確的方式生產設備。