二手 TEGAL 901e #9269137 待售

TEGAL 901e是為大批量生產應用而設計的高度先進的蝕刻/asher設備。它是一種能夠蝕刻多種材料的自動化機器，精密度高達6微米。它提供了最高水平的精確度和可重復性，能夠在多種材料中進行蝕刻，包括氮化物矽、鋁、鎢等。其最大晶圓尺寸為12英寸，可容納工藝操作員參數。TEGAL 901 E的蝕刻室是一種封閉式盒式設計，允許精確的溫度和流動條件以獲得最佳的蝕刻結果。其CD控制是一個最先進的線性編碼器單元，能夠在多個運行中傳遞精確、可重復的進程結果。該室本身由低泄漏的不銹鋼結構構成，包括一個冷墻卡盤，用於堅固的冷卻系統性能。901e除了具有流程級別的能力外，還配備了一系列流程監控和數據記錄功能，包括通用電腦化控制單元和廣泛的數據記錄能力。這樣可以確保記錄和跟蹤流程參數的一致性,並準確報告對流程或設置的任何更改。這樣可以改進和一致的產量,同時為分析結果提供可靠的基礎。901 E還提供了一個強大的安全程序，配有安全評估機，可以在整個過程中監控安全相關因素。此外，它還具有自動關機功能，允許在發生緊急情況時安全高效地關機流程。總體而言，TEGAL 901e是一種高度先進和先進的蝕刻器/asher工具，提供了一種可靠、省時、準確的蝕刻和灰化材料方法。它可以用於從細線蝕刻到深層蝕刻的廣泛過程，是大批量生產應用的理想解決方案。其卓越的精確度和可重復性確保了許多不同的材料能夠被精確和精確地蝕刻出來，從而提高了企業的成功和盈利能力。