二手 TEGAL 901e #9296890 待售
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TEGAL 901e Asher/Etcher是一款高性能的工廠自動化激光處理設備,專為高通量批量生產過程而設計。TEGAL 901 E具有先進的基於算法的並行模式單元處理功能,可處理多種材料,包括金屬、陶瓷、半導體和電介質。901 e的激光系統為正在處理的超過100 kHz的工件提供燒蝕,根據用戶定義的參數參數,901 E還提供高精度操作,如晶片切片、缺口鉆孔和口袋挖溝。TEGAL 901 e具有較高的激光輸出電位,可提供清晰、快速和準確的結果。TEGAL 901 E的關鍵性能播放器是其可定制的高級自動化和軟件控制系統,既使系統能夠無縫集成到工廠自動化過程中,又為操作員提供對整個單元的全面控制和可見性。為了獲得最高的性能和效率,901e設計了多個組件,包括一個裝有激光的加工室、一臺機器人晶圓處理機、一臺物理定位工具和一個空氣處理資產。在操作過程中,模型的激光電源上的精確引導,隨後不久由機器人晶圓處理設備。晶片處理程序將晶片對準各自的進料點,然後根據操作員的設置將其移動到工藝室或退火托盤中。激光系統在機器人操作系統從工件中取出材料的同時開始燒蝕。這樣可以提高吞吐量、一致的輸出和快速的周轉。在燒蝕過程中,空氣處理裝置處於運動狀態,以使加工室不會出現錯誤的材料,從而確保最大程度的安全性和準確性。901 E是一個完整的軟件包,具有適應性、高精度性能、可靠的運行和最大吞吐量的正確組合。總體而言,TEGAL 901e是實現清潔、精密加工、高效生產時間和靈活加工能力的理想選擇。
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