二手 TEGAL 901e #9312031 待售

TEGAL 901e是一款高級蝕刻器，設計用於各種蝕刻應用。它是一個完全集成的設備，具有多層薄膜蝕刻站，三室批（批）蝕刻工藝，以及集成系統熱管理單元。TEGAL 901 E配備了高性能的抗蝕劑、可調節的蝕刻室、高精度的掩模對準、晶圓溫度控制以及可選的粉塵和溶劑凈化系統。901e允許最多三步的薄膜蝕刻過程,允許用戶蝕刻各種薄膜厚度、密度和厚度公差。蝕刻過程完全自動化，在ExactMetrology軟件套件下工作，該套件允許用戶處理多個處理參數。901 E的多層工藝允許用戶一次蝕刻多層薄膜，使其成為電路板、電子元件和其他錯綜復雜的硬件產品批量生產的絕佳工具。配備了高性能的抗蝕層，TEGAL 901e可以蝕刻廣泛的圖案和形狀。可調蝕刻室允許蝕刻多種材料，包括金、銀、鋁、鈀合金。TEGAL 901 E的重疊結合特性允許應用卓越的膜分辨率和均勻性。此外，軟件控制的等離子體壓力控制機和晶圓溫度控制保證了蝕刻過程的效率和精確度。901e配備了多套精密的基於技術的系統，以提高其性能。高精度的掩模對準允許精確對準和重復圖案,而可選的粉塵和溶劑凈化系統有助於保持清潔的環境,確保安全高效的蝕刻。901 E具有50 cm2/min的高輸出，可以快速準確地蝕刻一系列基材和材料。總體而言，TEGAL 901e是一種先進的蝕刻工具，能夠產生高精度和高效率的結果。其最先進的技術、通用、可調的蝕刻室以及用戶友好的界面，使其成為蝕刻應用的絕佳選擇。TEGAL 901 E具有強大的功能,加上增強的安全協議和較高的輸出率,是大量生產復雜零部件的理想解決方案。