二手 TEGAL 901e #9314694 待售

TEGAL 901e Asher是生產電路板和其他元件的現代化高科技蝕刻設備。它是一個結合了最新的化學機械平面化（CMP）、反應性離子蝕刻（RIE）和晶圓清潔（Wafer Clean）的系統。TEGAL 901 E是一種高性能的幹蝕刻裝置，利用活性氧混合物生產具有高空間分辨率的電路板組件。901e的基本結構包括兩個氣體箱，用於制造和管理蝕刻過程所需的精確氣體混合物的流動。這些氣箱位於蝕刻室的頂部和下方。蝕刻室是一種不銹鋼真空密封加工室，裏面裝有載體/口罩、靶板和基板。它有一個集成到腔室門的壓力控制機，並配有一個快速通風閥，用於確保腔室的打開和關閉。901 E有一個4區4微米級加熱工具和一個控制器，為每個蝕刻步驟提供溫度和氣體輸送的精確控制。TEGAL 901e包括一個強大的脈沖發電機，它為目標和載波提供一個受控和一致的能量分布。這允許精確控制均勻性、選擇性和蝕刻速率能力。它是一種完全自動化的資產,允許使用單個掩碼或多個掩碼蝕刻。此外,TEGAL 901 E還提供內置的數據記錄、清理和最終階段檢查,從而允許在蝕刻階段重復使用和減少材料浪費。901e配備了先進的安全功能，包括溫度、壓力和應變傳感器。該模型采用符合人體工程學的操作門設計，可鎖定手柄、互鎖支撐鉤和防爆玻璃，確保了蝕刻過程中的最高安全水平。901 E的性能在市場上名列前茅，因為它能夠產生5微米的蝕刻分辨率和更快的銅、鋁等材料的沈積速率。設備以一致、可重復的結果運行。其先進的特點使其成為理想的電路板、集成電路和其他關鍵元件蝕刻系統。