二手 TEGAL 903 & 903E Series #425 待售

TEGAL 903&903E系列是一種蝕刻器/灰化器,是一種先進的工具,可用於廣泛的應用,特別是用於MEMS和半導體相關器件制造。它采用創新的加熱氣流設備，對目標材料進行蝕刻和灰化，提供高蝕刻速率，提高設備吞吐量，減少蝕刻循環時間。903&903E系列有一個大而寬的腔室，具有300 mm x 400 mm x 40 mm的大蝕刻面積。它具有低維護的石英管、光滑的陶瓷壁和帶有變頻控制器的高精度驅動系統來控制蝕刻速率。該機組有許多先進的工藝控制，包括壓力、溫度、氣流、保護性氣體型、腔室排氣速度、參數選擇和載荷/卸載。總體而言,TEGAL 903&903E系列提供卓越的蝕刻性能以及許多高級工藝控制,以實現傳統金屬和新材料的高精度蝕刻和灰化。該機是為可靠性、低維護和經濟運行而設計的.903&903E系列具有較大的工藝窗口、快速的蝕刻速率和改進的設備吞吐量。它還旨在減少顆粒汙染，並在較短的循環時間內實現卓越的吞吐量。該系列可以進行激光活化蝕刻、離子蝕刻、反應性離子蝕刻、等離子體蝕刻以及介電、電鏡、光學材料的RIE。這使得它適合多種工業和商業應用，包括電光、光子學、半導體器件制造和MEMS。總體而言,TEGAL 903&903E系列是一款高性能蝕刻器/asher,可提供卓越的蝕刻性能、高蝕刻速率、卓越的設備吞吐量和更好的周期。該工具有許多先進的工藝控制，能夠對傳統金屬以及各種工業應用的新材料進行精確的蝕刻和粉刷。