二手 TEGAL 903 #173938 待售

TEGAL 903是用於制造半導體晶圓等高科技產品的手動、靜電、等離子體蝕刻/灰燼。它是用於先進研發和原型實驗室的最通用、功能最強大的幹蝕刻設備之一。機器可以蝕刻/灰分各種各樣的材料，如矽，金屬，電介質，鈍化和許多其他基板。蝕刻工藝精密，具有高選擇性的微觀特征蝕刻能力。該機采用等離子體動力靜電場發生器的先進新技術，將金屬離子和其他反應性材料驅動到晶圓表面。903具有雙隔離靜電室,允許多掩模蝕刻和可變溫度範圍的操作。兩個腔室都可以在不同的溫度下操作，允許使用者在控制埋葬深度的同時產生復雜的圖樣蝕刻。TEGAL 903以其可調的壓力和溫度設置，可以實現廣泛的沈積厚度。這樣可以選擇最佳蝕刻速度和輸出質量。903能夠產生極高的蝕刻速率，尤其是在使用矽、​​的材料時。該機采用先進的真空系統，保持穩定的蝕刻環境，具有較高的吞吐量和可重復性。自動電平控制功能允許從晶圓到晶圓的重復蝕刻配置文件。TEGAL 903提供卓越的準確性和可重復性。其多才多藝的設計可以方便地訪問所有蝕刻程序，包括掩蔽、沈積、蝕刻和清潔。其用戶友好的界面、直觀的菜單結構和先進的技術使其成為半導體器件制造專業人士的絕佳選擇。這臺機器價格合理,以經濟高效的方式提供可靠的操作.