二手 TEGAL 903 #293594520 待售

TEGAL 903是一種現代化的直寫光刻設備，專為制造精密高效的納米結構而設計。該系統使用先進的光學、定位系統和專門的軟件，將光抗蝕劑精確地暴露在光源下。高分辨率透鏡和反射鏡用於將光能聚焦到基板上，從而實現受控光刻。這一單元能夠將納米結構設計成幾十納米。903是一種行業標準的設備，可以搭配多種基材和抗蝕劑，以高精度打造納米結構。這臺機器包含了幾個組件，每個組件在光刻過程中起著至關重要的作用。光源模塊是工具的關鍵組件，使用的光源類型將取決於需要寫入的模式。根據工作的不同，光源可以是激光、i線或ArF準分子激光器。除了標準的光學元件外，TEGAL 903還結合了三軸電動和手動控制的舞臺定位資產，以確保精確的基板定位。為了確保一個精確的模式，模型有精密的對齊和計量工具，以確保暴露模式的完美。此外,903還提供了多種過程控制參數,包括劑量和焦點控制、施加的電壓和薄膜定位,以便為各種應用提供精確的過程控制。該設備還包括一個輔助光源，用於耐熱烘烤，加熱溫度可達200 °C。為TEGAL 903供電的軟件旨在提供一個直觀的用戶界面，允許快速創建樣本和快速原型。903是專為納米材料量身定制的範圍最廣的蝕刻和asher系統，提供了適應各種客戶獨特生產需求的靈活性。TEGAL 903憑借其先進的光學、智能軟件和精密的機動控制，使用戶能夠以極高的精度和可重復性對納米結構進行蝕刻和粉刷。