二手 TEGAL 903 #293655091 待售

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ID: 293655091
Plasma etcher.
TEGAL 903是專門為生產廣泛的高精度器件而設計的高性能等離子體蝕刻器/asher,特別是那些用於電子、電信和半導體行業的器件。它是一種可靠、強大的設備,能夠在塑料、陶瓷、玻璃等多種基板上進行高精度、高通量的蝕刻和灰化工藝。903是一個完全獨立的等離子體處理系統,為等離子體蝕刻和灰化操作提供了一個獨立的解決方案。它針對成本效益進行了優化,為用戶提供了一個可靠、可靠的精密流程平臺,同時易於安裝和操作。該系統包括幾個先進的功能,例如大的表面板,允許更大的基板覆蓋面,高真空側的真空額定值,可確保更高的氣體夾帶能力和過程中的出色冷卻,以及可調的溫度範圍,從120°C到400°C。TEGAL 903允許自動或手動控制工藝參數,例如蝕刻時間、蝕刻速率、占空比和基板活化剖面。此外,它還具有多語言觸摸屏界面,可輕松控制蝕刻過程和作業數據輸入。為監測這一過程,903配備了先進的光學監測系統,使用戶能夠精確和遠程監測蝕刻輪廓。TEGAL 903等離子體蝕刻器/asher具有先進的高通量功能設計,能夠保持蝕刻率和最高質量的asher速率。它堅固的設計使它能夠處理等離子體激活和蝕刻時間比競爭對手長得多。此外,它對基板具有極好的耐磨性和耐腐蝕性,從而確保其耐久性和今後的一致蝕刻和灰度性能。總體而言,903是生產高精度設備的寶貴設備。其優越的性能、可靠的操作和成本效益使其成為那些希望在生產最優質基材的同時最大限度地提高生產效率和降低成本的人的理想選擇。
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