二手 TEGAL 903 #9007913 待售

TEGAL 903是為生產小型隨機邏輯和內存芯片而設計的蝕刻器/asher。它配備了電子束源和光束偏轉設備，使其能夠實現高通量和一致的蝕刻質量。903已被證明能夠可靠地生產特征尺寸在1微米以下的晶片。該系統采用先進的射孔濺射槍和可獨立調節的網格電子束發射器，能夠以非常高精度的方式電離和沈積材料。這種先進的電子束光源與創新的光束偏轉單元的集成允許在1微米以下的分辨率下進行高通量蝕刻，這對於像超細線寬和接觸孔這樣的特征很有用。該機具有多項創新功能,可確保過程可重復性和過程控制。閉環反饋工具使用電荷耦合器件攝像頭監控蝕刻進度，並進行中蝕刻校正，以保持像均勻性、接觸孔精度、寬度、深度等關鍵工藝參數。該資產還配備了可調氣體閥，允許用戶精確控制像側壁角、沈積速率、特征尺寸、蝕刻速率等蝕刻參數。蝕刻速率監視器還有助於提供反饋以保持整個晶片的均勻性。為確保工藝精度,TEGAL 903使用精密洗滌器和三維wi-fend功能,以確保圖樣以高精度從掩模傳輸到晶圓。模型的可編程性還允許使用高度可定制的配方,以便用戶根據自己的特定需求定制其流程。903最顯著的特點之一就是它的多工具性質。它可以用於蝕刻、電鍍和其他類型的工藝，以滿足各種生產需要。TEGAL 903具有高通量能力和精密的控制算法，非常適合隨機邏輯和內存芯片的批量生產。