二手 TEGAL 903 #9071954 待售

TEGAL 903是一個高性能的蝕刻/ascher系統，設計用於處理各種各樣的基板。其最大蝕刻速率為400 nm/min，最大沈積速率為500 nm/min，是加工較大基材的理想之選。它具有先進的雙通工藝，允許在整個基板上均勻，因此非常適合精確的蝕刻和沈積工藝。903具有一系列可調節的參數,這意味著用戶可以根據自己的特定需求調整流程。這些包括各種工藝變量，如工藝壓力、腔室溫度、工藝持續時間和氣體成分，以及工藝特定參數，如端點檢測和用於蝕刻和沈積的反應性氣體混合。TEGAL 903具有全方位的安全系統,如二氧化碳和氮氣自動清除、壓力監測、過壓保護和接地故障中斷器。所有這些安全系統確保設備能夠安全操作。903還具有較高的自動化和控制水平,可以精確控制蝕刻和沈積過程。它還具有用戶友好的圖形用戶界面（GUI）,旨在使TEGAL 903的操作更加輕松高效。903適用於半導體制造、電光、微波和MEMS設備。它也非常適合許多其他應用，例如數據存儲設備、材料表征、光子設備制造和生物醫療設備。總之，TEGAL 903是一種先進的多功能蝕刻/asher系統，專為廣泛的應用而設計。它具有用於均勻基板處理的雙通過程、可調參數控制以根據個人用戶需求定制過程、確保安全操作的一系列安全系統以及用戶友好的GUI以實現高效操作。它非常適合許多不同的應用，其廣泛的用戶證明了這一點。