二手 TEGAL 903 #9076197 待售

TEGAL 903是一種以等離子體為基礎的高端蝕刻器/asher裝置，用於各種材料的精確可靠的蝕刻/灰化，如矽、砷化​​、磷化銨和絕緣子上矽（SOI）底物。這款先進的設備采用了創新設計，結合了可靠、高分辨率的電光掃描儀和光學控制的計算機控制蝕刻室。903是一個多合一的系統，可以同時蝕刻和粉刷基板，使得它非常適合許多不同的應用。TEGAL 903精度高、效率高，分辨率為1微米，精度為0.5微米，厚材料蝕刻速度為5毫秒/微米，薄材料蝕刻速度為0.3毫秒/微米。這樣可以確保所有蝕刻/灰化過程保持盡可能準確和一致。該單元還可以設置為使用四種不同的蝕刻氣體處理多達四種不同的模式。這使用戶能夠準確、快速地創建復雜的3維結構。903配備了獨特的等離子體發電機，由低壓源供電。這種發電機旨在為所有過程產生穩定的等離子體射流，無論底物類型如何，都能產生一致的結果。該機還由一個高度精確的計算機界面組成，允許精確的參數設置被快速而輕松地表征和細化。TEGAL 903相對容易使用，因為所有操作都可以通過用戶友好的控制面板實現自動化。該工具具有內置的安全特性，蝕刻室附著在模塊化框架上。此框架可減少操作過程中的振動和移動,從而實現一致的準確過程。此外，903還配有多種可選真空泵送系統，可用於減少總蝕刻時間。總體而言,TEGAL 903是一種先進的蝕刻/灰化資產,以合理的價格提供精確度和精確度。它可以處理多種不同的工藝和基材類型，其直觀的設計使得即使是復雜的蝕刻工藝也能快速無誤地完成。903是尋求可靠、高效、經濟高效的蝕刻和灰化解決方案的用戶的理想選擇。