二手 TEGAL 903 #9152161 待售

TEGAL 903是一款蝕刻器和asher，為制造可靠性和性能水平最高的集成電路提供了先進的平臺。它是一個可靠的平臺，支持蝕刻和灰分工藝，具有一致的可重復性，並在廣泛的半導體工藝參數中產生產量。903具有現代化的用戶界面（UI）和直觀的GUI,以及先進的分布式內存技術、基於矩陣的配方,以及精確和控制過程參數的全面列表,為各種過程需求提供了靈活的平臺。此外,TEGAL 903還提供全流程一致性、快速恢復和嚴格的流程控制規範,以及多蝕刻流程功能。903具有強大的耐用性和可靠的性能在整個半導體制造操作領域,從介電多環化物到RIE和陣列灰化應用。TEGAL 903利用用戶友好的圖形界面,並提供一系列設備自動化功能,可幫助快速輕松地設置蝕刻和灰化操作的配方。該系統的分布式內存技術可確保從2 µm到8 µm的產品提供可靠且可重復的模式。903還具有用於多次蝕刻和灰燼操作的多過程功能,例如RIE淺溝槽隔離（STI）應用。TEGAL 903的強健控制和數據采集（CDA）單元提供了精確和可重復性，以滿足最苛刻的半導體處理需求。903的高級體系結構能夠在過程運行期間對所有參數進行精確的過程控制和完全控制。它還能夠通過綜合流程數據采集機（PDS）或命令行提供流程優化。TEGAL 903在鑄造和裝配操作要求高水平的蝕刻和灰化復雜性和精確度時提供卓越的性能和成本效益。它配備了一整套自動化和手動操作的控制和軟件程序,使用戶能夠優化效率並產生性能。903的最終目標是為質量最高的終端產品提供可靠、經濟高效的制造工藝。