二手 TEGAL 903 #9250122 待售

TEGAL 903是一種批量樣式的蒸氣相蝕刻器/灰化器,用於高端蒸氣相蝕刻和灰化應用,需要大量精確的結果。它具有專利的低溫工藝（LTP）與專利等離子體為基礎的前體化學，它提供了一個深度蝕刻特征與優化地形。該設備的設計包括各種工藝模塊，以確保在蝕刻、氣相沈積和沈積過程中具有高精度。這些模塊包括3D蝕刻、受控時間蝕刻、高級薄膜形成、原子層沈積和其他專有過程。903是一個自動化系統,這意味著無需手動調整設備即可將其編程為執行多種不同的蝕刻和灰化過程。機器配備了多種精密元件和自動化測量,以確保其可重復的性能。設備功率範圍為1250至2500瓦，非常適合大容量蝕刻和灰化應用。該單元還包括一個可選的渦輪脈沖驅動器，使其能夠運行更高的功率，並提供更精確的蝕刻深度。TEGAL 903具有獲得專利的溫度補償技術,允許機器根據需要調整其功率和工藝參數,以確保一致的蝕刻深度。它還有一個獨特的氣體Heaterflow（GHF）工具，可以提供高度均勻的過程氣體分布。此外，該資產在低溫下運行，采用自對準熱電平，從而減少將氣體捕獲在設備表面的機會。設備包括大量選項，包括一個板載配方管理器，用於編程蝕刻和灰度配方，以及許多用於監控過程的分析工具，包括傾斜角度成像、SEM和X射線分析。這些工具使用戶能夠最大限度地提高設備的準確性和生產率。最後，903具有強大的矢量驅動電機的高精度和可重復性。TEGAL 903是一款用途廣泛、精密的蝕刻器/asher,能夠為大容量蝕刻和灰化應用產生優異的效果。其廣泛的工藝模塊、高級功能和可定制的選項使其成為滿足各種蝕刻和灰化需求的理想工具。