二手 TEGAL 903 #9265523 待售

TEGAL 903是第3代蝕刻器/asher，由TEGAL Corporation設計制造。它是一種化學蝕刻與化學灰化相結合的雙噴霧設備，為晶圓的制造提供了一種新的關鍵工藝。903系統提供了兩全其美-兩噴嘴中每種氣體的精確對準,以及分別控制化學蝕刻和化學灰化的多個參數的靈活性。這些特性可以實現廣泛的工藝目標，從時間/溫度控制到復雜的氣體和組件組合。TEGAL 903旨在提供可靠的性能和高速吞吐量。它能夠在15秒內蝕刻和灰化多達2英寸（5厘米）的晶片。每個蝕刻/灰分循環可以從0.1到2.0ml撥號，允許用戶自定義蝕刻/灰分進程的程度。還可以將單位設置為等壓或統計模型蝕刻/灰分循環，以增強結果。903是一款高性能機器，通過數字過程控制、溫度和壓力傳感器、總負載檢查以及可編程邏輯控制系統進行增強。這些功能允許完全的可編程性和過程自動化。該工具還具有圖形用戶界面,可訪問超過256種預設配方,從而使用戶能夠快速重新創建以前安裝中使用的配方。在安全性方面，TEGAL 903的設計符合業界最嚴格的標準。設有過壓保護、防靜電放電裝置、電弧故障互鎖系統。該資產還符合所有適用的UL、CSA和IEC安全標準。最後,903是一種健壯且可高度配置的蝕刻器/asher。TEGAL 903具有雙過程噴嘴設計、高速循環時間、可編程操作參數以及直觀的圖形用戶界面，是晶圓制造的強大工具。903具有出色的精度、可靠性和安全特性,是各種工藝的理想選擇。