二手 TEGAL 903E Series #83010 待售
網址複製成功！
ID: 83010
晶圓大小: 6"
Etcher, 6"
Includes:
ENI ACG-10 RF Generator (1000 Watt)
DEC monitor station
Chart recorder
(Qty 4) Mass flow controllers with certified calibration sheet
Pressure controller with certified calibration sheet
Heated baratron with certified calibration sheet
Upgraded pressure manifold with Nupro valves
Upgraded gas manifold with Nupro valves
Top plate chuck interlock
Vacuum valve RF interlock
Install new stepper motors
Install new cylinders
Install upper electrode
Install chemically clean upper ceramic insulator
Install new 6” lower electrode (chuck)
Install new 6” castellated ceramic ring
Install new 6”super spatula assy's
Install 6” super tine assy
Install new quartz pins
Install new collar pins
Install new metering valves
Install new flexible gas lines
Rebuild chuck cylinder
Rebuild pin cylinder
Install new flow switches SST
Install new standoffs
Install new safety covers
Install new bellows HPS angle valve
Install new seals and O-rings, process chamber assy
Install bearings, as necessary
Install new sapphire rod
Install new fiber optics
Install new sensor PCB
Install new tubing
Install new capacitive sensors
Install new RF cables
Install new variable caps
Tegal Chillers available at additional cost.
TEGAL 903E Series Etcher/Asher是一種先進的直列式化學蝕刻器和Asher設備，用於廣泛的應用，包括半導體器件制造、印刷電路板生產和MEMS器件制造。該系統設計為具有精確、速度、精度和高度柔韌性的蝕刻和粉刷。TEGAL 903E包括高級xy軸運動階段、高分辨率光學編碼器表和PC/Windows/Software操作環境。運動階段包括長沖程線性驅動和耐用、可重復的舞臺運動,可促進大面積蝕刻和灰化過程。高分辨率光學編碼器表提供精確、一致的定位和可重復的運動，以確保精確蝕刻和灰化。PC/Windows/Software操作環境用戶友好,可以輕松直觀地控制設備。TEGAL 903E包含一個多區域真空機,為蝕刻和灰化提供密封環境。真空工具根據所需工藝的數量進行調整，範圍從單區域到多區域工藝。此外,可以將多個蝕刻配方編程到資產中,用於不同的過程,從而實現簡單、可重復的蝕刻和灰化過程。TEGAL 903E還采用了先進的Cool-GasTM噴嘴控制模型,該模型提供了對氣流和壓力水平的精確控制,以增強蝕刻和灰化過程控制。此外，該設備還包括晶圓溫度監測和反饋系統，可自動調節冷氣噴嘴條件，確保基板溫度精度和穩定性。TEGAL 903E還包括高級聯網功能。該設備可以聯網到其他蝕刻和灰化系統,也可以聯網到客戶的流程計算機,以便於對流程進行監視和控制。此外,還可以將計算機與客戶現有的控制軟件聯網,以便與其他串聯處理系統集成。總體而言,903E Series Etcher/Asher是一種高級且可靠的蝕刻和灰化工具,專為需要精確控制和可重復性的應用而設計。該資產集成了多種功能和功能,為用戶提供了以精確、快速和精確的方式執行蝕刻和灰化的靈活性。
還沒有評論