二手 TEGAL 903E Series #92424 待售

TEGAL 903E系列是一種革命性的單室直接灰化器/蝕刻器設備,旨在快速加工晶片、芯片、基材和材料,重點是精度和精確度。TEGAL 903E基於全自動平臺,允許通過觸摸按鈕控制過程變量和配方,從而提供卓越的結果重復性。TEGAL 903E具有濕法和幹法蝕刻工藝,是半導體、納米技術和MEMS市場先進工藝開發和生產測試的完美工具。該903E具有精確的計算機控制機械臂和精確的計算機控制蝕刻室，提供了卓越的精度和可重復性。該系統能夠以極高的精確度對小樣品進行極其快速的處理。TEGAL 903E蝕刻裝置是為高通量應用而設計的，帶有一個工藝室，根據蝕刻溶液的確切數量進行校準。超大型反應室允許完全覆蓋晶片和樣品，從而實現最大的蝕刻效率。該903E還具有簡單易用的觸摸屏用戶界面,具有板載軟件和多種控制語言。所有的淬火、蝕刻和幹燥操作都是完全自動化和精確的，提供了堅實的一致性和對過程的精確控制。TEGAL 903E允許用戶優化特定材料的蝕刻和沈積工藝,並定制工藝配方。晶片在TEGAL 903E中自動加載和卸載,樣品取向完全自動化。獨特的旋轉和振動樣品特性有助於最小化顆粒積累和表面粗糙度。該903E還包括一個先進的淬火程序，以盡量減少晶圓損壞和後蝕刻粗糙度，同時實現更高的蝕刻速率，並提高分辨率。903E系列是一款功能強大的多合一蝕刻和asher/etcher機器。TEGAL 903E具有更高的吞吐量、卓越的精確度和準確性、改進的可重復性以及全面的自動化,是快速處理各種應用的小型樣品的理想解決方案。其卓越的淬火工藝提供了卓越的晶片完整性，提高了蝕刻速率和分辨率，從而產生了高質量、一致的結果。