二手 TEGAL 905 #163758 待售

TEGAL 905是一種蝕刻器/asher，一種用於集成電路（IC）生產中幹蝕刻和灰化的設備。它是一種使用多過程氣體輸送設備的工具，以實現高效和可重復的蝕刻和灰化過程。該工具在超小型平臺中具有單一的8英寸晶圓容量,旨在減少占用空間並優化清潔室工作區效率。905具有完全集成的過程控制器,可提供一致且可重復的過程,並具有毫秒級的時間分辨率。其先進的工藝控制技術通過在等離子體操作過程中調整工藝參數來提高蝕刻精度。它的氣體輸送系統能夠獨立控制氣體，允許用戶為每個蝕刻過程選擇最佳的氣體混合。TEGAL 905還有一個集成的分銷盒式磁帶，它減少了進程之間切換晶片所需的時間，並大幅提高了吞吐量。它的可編程卡帶位置允許用戶調整蝕刻和灰處理的時間，以最大限度地提高生產力和質量。此外,該工具的Opto電池檢測可確保一次只處理一個晶圓,從而最大程度地減少汙染。905還包括一個先進的安全單元,可實現故障安全操作和最大的正常運行時間。其三層安全機器包括1級和2級聯鎖工具、壓敏過壓閥和壓敏陶瓷閥。還提供可選的凈化泵和排氣系統，以保持腔室清潔和沒有汙染物。憑借先進的工藝控制技術和安全特性，TEGAL 905是滿足高精度生產需求的理想工具。其體積小、處理速度快以及集成的氣體輸送資產為IC制造商提供了高效、經濟的解決方案。