二手 TEGAL 905 #293827391 待售
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TEGAL 905是為半導體制造工藝設計的最先進的蝕刻/asher設備。它是一種高度通用的工具，在制造先進半導體器件時便於精確的材料去除和表面處理。該工具廣泛應用於光刻剝離、降序、等離子體蝕刻、表面清潔、材料改性等多種應用中。905 蝕刻器/asher系統具有堅固的結構和創新的設計,可確保半導體處理的高性能、可靠性和可重復性。該裝置包括鎖載室、加工室、氣體輸送機、射頻電源、溫度控制工具、真空泵和先進的控制資產。這些組件協同工作以提供精確和統一的處理結果,同時保持高度的過程控制和自動化。TEGAL 905機型的一個關鍵特點是它的多用途處理能力。該設備支持廣泛的蝕刻化學方法，包括氟基、氯基、氧基和特種氣體，允許根據特定材料要求定制蝕刻配方。這種靈活性使系統能夠以高選擇性和精確度蝕刻各種類型的材料如矽、二氧化矽、氮化矽、金屬和電介質。905單元配備了先進的等離子體生成技術，包括電容耦合、感應耦合和遠程等離子體源，以實現整個工藝室高效、均勻的等離子體生成。這些等離子體源保證了高度的蝕刻均勻性和對過程參數的控制，如離子能量、離子密度和蝕刻速率，導致了出色的過程重復性和可靠性。此外,TEGAL 905機器還配備了先進的氣體輸送工具,能夠在蝕刻過程中精確控制氣體流量、壓力和成分。該資產配備了質量流量控制器、壓力調節器和氣體混合功能，以創建定制的蝕刻大氣，以適應特定的工藝要求。這種對工藝氣體的微調控制可以優化蝕刻性能和消除工藝引起的缺陷。此外,905型號還具有高級溫度控制功能,可在整個蝕刻過程中保持一致的工藝環境。該設備具有加熱和冷卻機制，以控制基板溫度和腔室溫度，確保各種蝕刻化學和材料的最佳工藝條件。該溫度控制系統在實現精確蝕刻結果和最小化對基板的熱效應方面起著關鍵作用。TEGAL 905單元還配備了一臺精密的真空機，能夠快速下泵和高效率地從工藝室內清除工藝副產品和汙染物。該工具具有高容量渦輪分子泵、粗加工泵、真空計和壓力傳感器，在蝕刻過程中創造並保持清潔穩定的真空環境。這種真空資產保證了高工藝純度，最大限度地減少了顆粒汙染，並提高了工藝的可重復性和產量。總之,905 蝕刻器/asher模型是半導體制造的前沿工具,可提供精確、可靠和靈活的處理功能,適用於各種蝕刻和灰化應用。憑借其先進的等離子體生成技術、氣體輸送設備、溫度控制能力和真空系統，TEGAL 905單元使半導體制造商在制造下一代半導體器件方面實現了優越的工藝控制、均勻性和性能。
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